レーザー光源の寿命予測する新アプリが登場　エイシングがアルファ版をリリース

　株式会社エイシングは8月15日、新製品『レーザー光源寿命予測AIアプリケーションver1.0.0』をアルファ版としてリリースした。このアプリケーションは、半導体製造装置の位置決め用レーザー光源の個体差に対応した寿命予測を可能にするという。

　『レーザー光源寿命予測AIアプリケーションver1.0.0』は、ユーザーがPC（IPC）へのインストールだけで、即座に装置内で使用可能な手軽さが特徴だ。時系列データをもとに独自のアルゴリズムを用いて、光源の寿命を高い精度で予測する。この結果、より効果的なCBM（condition based maintenance）が実現でき、予期せぬ機械のブレイクダウンを防ぐという。

　従来の線形回帰法では予測の精度に限界があったが、新しいAIアプリケーションはその問題を克服。半導体製造装置だけでなく、他の各種装置でも使用可能で、多くの企業のニーズに応えることが期待される。

　このアプリケーションは、7月24日から26日に東京ビッグサイトで開催された「TECHNO-FRONTIER 2024」で初めて公開された。

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