プローブ電極や分光分析装置ではなく、色の変化で簡単にプラズマを見える化

サクラクレパス、プラズマ強度が瞬時に分かるラベルを発売

PLAZMARK 耐熱性ラベル型

　サクラクレパスは6月1日、プラズマ強度を装置内で置くだけで判別できる可視化ツール「PLAZMARK 耐熱性ラベル型」を発売した。

　エレクトロニクス製造では、プラズマを用いた処理が各種工程に多く用いられている。装置内でプラズマガスがどのように分布するのかという強度分析には、主にプローブ電極や光学的な測定が使われているが、プローブの場合はポイントごとにプローブを設置、光学的な測定では装置に外から見える窓を作る必要があり、装置の構造や手間などの問題があった。

各種プラズマに対する変色性

　サクラクレパスでは国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託事業として、プラズマによって変色する無機材料を耐熱性ラベルとして製品化。柔軟性・粘着性のあるラベルを装置内に貼り付けてプラズマ処理すればラベルが変化した色によってプラズマ強度を知ることができ、測定時間は従来の1/10に短縮できるという。

　耐熱温度は200度。10枚入り1万260円。

■関連サイト

• ニュースリリース(サクラクレパス)
• ニュースリリース(NEDO)
• サクラクレパス
• 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構