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アナログ・デバイセズ、MEMSによるワンチップジャイロスコープ“ADXRS ジャイロ”を発表

2002年10月02日 23時42分更新

文● 編集部

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アナログ・デバイセズ(株)は2日、米アナログ・デバイセズ社の同日付けの発表として、角速度センサーと信号処理回路を1個のシリコンチップ上に集積したデバイス“MEMSジャイロスコープ”となる“ADXRS ジャイロ”を発表した。

『ADXRS ジャイロ』
『ADXRS ジャイロ』

『ADXRS ジャイロ』は、同社の“iMEMS(集積マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)”技術を利用して、角速度(アングル・レート)センサーと信号調整回路を1チップ化した製品で、精度と信頼性が向上したほか、コストパフォーマンスも高くなったという。パッケージには、幅7×奥行き7×高さ3mmのBGA(Ball Grid Array)を採用。消費電力も5mAとなっている(5V時)。動作中でも機械系/電子系のセルフテストが可能であるうえ、最高2000Gの加速度がかかっていても安定な出力が得られるという。ラインアップは、角速度が毎秒300度までに対応した『ADXRS300』と、毎秒150度までに対応した『ADXRS150』の2品種。価格は1000個受注時の単価が30ドル(約3700円)。サンプル出荷中で、年末までに量産化の予定。

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