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精密機器の “ラスト1nm”問題に解決策 JFE商事エレクトロニクス、世界最大級のナノテクノロジー技術展に低熱膨張材「LEX(R)」を初出展

PR TIMES

JFE商事エレクトロニクス株式会社
2024年1月31日(水)から開催される世界最大級のナノテクノロジー技術展「nano tech 2024」に、低熱膨張材「LEX(R)シリーズ」を出展いたします。


当社出展ソリューション LEX(R)シリーズ イメージ画像
■出展背景|微細化に立ちはだかる“ラスト1nm”の壁

半導体や光学、宇宙航空分野の関連装置は、性能の追及に伴い微細化を続けています。そして国内でも関連装置の開発に力を入れる企業が多い中、「あと1nm、どうしても精度を上げたい」という相談が多くJ商エレに寄せられるようになりました。
※1nm(1ナノメートル 平均的な髪の毛の太さの10万分の1程度)

これまでの微細化は、装置の設計方法などデザインによる解決手法が主でした。
しかしヒアリングの結果、デザインでまかなえる精度にも限界があるため「装置の素材から検討し直したい」という要望が新たに生まれてきていることがわかりました。

そこで今回の出展では、この“ラスト1nm”の精度向上課題に対して実績のある低熱膨張材「LEX(R)」を出展いたします。

当社の出展内容の詳細はこちら▼
URL:https://lp.jfe-shoji-ele.co.jp/nanotech-2024
当社出展内容の詳細はこちら
■出展詳細|ブレッドボードなどの精密機器に対応

展示会では、低熱膨張材「LEX(R)」における「この仕様での実装は可能か」「この分野での応用は可能か」といったご相談はもちろん、素材の販売、加工、熱処理、表面処理、合金設計といったトータルでのご相談を承ります。

「LEX(R)」は、“温度変化による伸縮がほぼない”という特性を持つため、微小なズレが大問題に発展してしまうような精密機器に適しています。具体的には、光学ブレッドボード*等の実験プラットフォームからウエハ検査装置、フォトマスク検査装置、プローブカードといった、半導体・光学・宇宙航空分野などの精密機器・装置で活用可能です。

光学ブレッドボードやウエハ検査装置等に活用可能
*ブレッドボードとは、平面に光学系を構築するためのポータブルプラットフォームです。