日立、次世代光ディスク用原盤露光装置を開発

(株)日立製作所は12日、DUV(深紫外線)レーザーを使用した次世代光ディスク対応の原盤露光装置を開発し販売を開始したと発表した。

原盤露光装置

開発した装置は、光ディスクの製造工程のうちマスタリングプロセスで使用されるもので、レジスト(光に反応する高分子材料)を塗布したガラス原盤にDUVレーザーを照射し、溝(ピットとウォブル)を形成するためにレジストを露光させる機能を持つ。同社では、波長257nmのDUVレーザー(アルゴンイオン/水冷タイプ)の採用、色収差が補正されていない対物レンズによる高精度オートフォーカス機構、レーザービームの光軸補正機構、摩擦駆動式スライダーの搭載などにより、次世代ディスクに対応したとしている。

次世代DVD

同社では、現在のDVDもオプションで対応できることから、現行のDVD用の仕様で導入し、後に次世代仕様に切り替えることもできるとしている。今後、次世代光ディスクの各種フォーマットが開示された段階で、実証ディスクを作成し、詳細の実機調整を行なう予定。

• ニュースリリース
• 日立製作所