松下電器、大面積の微細部をナノ精度で測定できる3次元測定機を開発

松下電器産業(株)は5日、独自の原子間力プローブ(探針)により、曲率半径2μmの領域まで、10nm(ナノメートル)の精度で最大400×400×90mmのエリアを測定できる3次元測定機を開発したと発表した。5月に受注を開始する。

開発した3次元測定機

3次元測定機の製品化のために開発した技術は、先端の曲率半径が2μm、頂角45度の形状を持つダイヤモンドを利用した原子間力プローブの機構要素技術と、プローブを高速に表面形状に追従させるフィードバック制御技術、測定位置でヘリウムネオンレーザーのレーザー光を反射干渉させる3次元座標レーザー測長技術の3つ。

同社では、この3次元測定機を、青色レーザーを利用する次世代大容量光ディスク用の非球面レンズや、ブロードバンド対応の光ファイバー通信用部品、大容量メモリーの表面凹凸形状など、ナノレベルの微細形状の測定に利用できるとしている。

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