キヤノン、SOIウエハーの生産ラインを増設

キヤノン(株)は22日、同社の各種デバイスの研究・開発・生産拠点である平塚事業所内にある、SOI(シリコン・オン・インシュレーター)ウエハーの生産ラインを増設すると発表した。本格稼動は10月を目指す。SOIウエハーは、絶縁層の上に単結晶シリコンを形成したもので、処理の高速化と低消費電力化が可能な半導体ウエハー。パソコン用のCPUやDSP、超小型パソコンなどの次世代の携帯端末用ICなどへの応用が検討されている。
今回の増設は、SOIウエハー市場の成長が予測されるなか、同社独自のSOIウエハー『ELTRAN』に対する需要の急増に対応するため。クリーンルームの拡張をはじめとして、最新鋭の製造装置や品質管理に必要な分析装置を設置し、工程管理や在庫管理を徹底することで、すでに稼動しているCIM(コンピューターによる統合生産)の充実を図るという。低コストで量産化できる独自の“ウォータージェット分離技術”により、現行の5倍にあたる月産1万枚体制をとる。

• キヤノン
• ELTRANについての情報