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半導体関連シンポジウム“ISSジャパン98”が開幕

1998年02月04日 00時00分更新

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 半導体関連のシンポジウム“ISS(Industry Strategy Symposium)ジャパン98”が、本日開幕した。開催期間は2月6日までで、参加は申込制となっている。SEMIジャパンが主催する同シンポジウムは今年で12年目を迎え、初日となった本日は、(株)半導体先端テクノロジーズ(Selete)を訪問するという趣向。

 Seleteは、半導体メーカー10社の均等出資により'96年に設立された法人で、次世代における半導体製造装置の評価および半導体基盤技術の研究を主な業務としている。資本金は50億円。株主は富士通、日立製作所、松下電器産業、三菱電機、日本電気、沖電気工業、三洋電機、シャープ、ソニー、東芝で、'97年には韓国の三星電子も資本参加している。各社から出向した研究者約50人のほか、日立製作所のオペレーターなどが勤務する。

 Selete代表取締役専務の小宮啓義氏は、懸念されている300mmウエハー開発の遅れについて、「当社では2000年中には生産ラインを立ち上げたいと考えている。景気は悪いものの、開発ペースを落とさないよう各社にお願いしたい」と述べた。'98年度中に、国内外の企業による300mmウエハー用半導体製造装置がひととおり出そろい、'99年度で装置の評価を完了、200mmウエハーとコスト、技術を比較、検討した上で2000年度に製品化、というのがSeleteの筋書きのようだ。また同社では、300mmウエハーの推進を目的として米国で設立されたInternational 300mm Initiative(I300I)と共同して、仕様の標準化、技術開発を進めたいとしている。

 日立製作所が運営する生産技術研究所の一部を、総額64億円かけて改装したというSelete構内の見学会も行なわれた。ただし、株主各社間の契約により、ふだんは関係者でも自由に出入りできないほどの厳重体制が敷かれているらしく、参加者が見学できるのもごく限られた場所のみ。装置の評価を行なうフロアや、各種のガスを管理するフロアのほか、超純水を生成する設備などが公開された。半導体は、磁場や振動、不純物に対して極めてデリケートなだけに設備も大掛かり。誤って漏れたガスを迅速に除外する装置、ガス爆発による熱風を外に吐き出す窓など、万一の事故に対する設備なども紹介された。安全に対しては細心の注意が払われており、設備の建設にあたっては地域住民に対する説明会も行なわれたという。

 



 明日からは、シンポジウム、ワークショップが本格的に開始される。レポートする予定。(報道局 浅野広明)

TEL.03-3222-5755(SEMIジャパン)
http://www.semi.org/(SEMI国際本部ホームページ)

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