半導体露光専用紫外線(UV-)LED販売開始

ナイトライド・セミコンダクター株式会社
半導体露光に有効な指向角の狭い高出力な紫外線(UV-)LEDを開発・販売開始しましたのでご報告申し上げます。

環境への影響もあり、水銀を含む紫外線ランプから紫外線LEDへの切り替えに関心が高まっています。従来、紫外線LEDは、コストが高い、光出力が弱いといった理由で置き換えが進んでいませんでした。


新製品名称：露光専用UV-LED365L-9RXT



1.背景
半導体製造に使用する露光機には水銀を含む紫外線(UV)ランプが使用されていますが、待機時間が長い、寿命が短い、UV照度の安定性が低い、オンオフによる制御ができないといった機能面での制約に加えて、水銀の製造・貿易の禁止を決議した国連環境計画（UNEP) 水俣条約の発効期限2020年を迎え、環境問題からも半導体（LED）光源への切り替えが進むことが期待されています。
2. 露光機専用UV-LED365L-9RXTの特徴
１.高効率大出力UV-LEDチップを採用し、省エネ、長寿命
高効率、省エネ、長寿命な波長365nm大面積UV-LEDチップを採用、UV出力3.2W（If：3A、Vf.：4.6V）の大パワーを発揮します。
２.半導体露光に適した狭い指向角で従来の露光機への後付けが可能
正確な露光を行うためには、平行光が必要ですが、一般的にUV-LED光源は指向角が広く（約120°）、露光用に取り込む光量が不足する傾向がありました。そこで、予め深いリフレクターに紫外線透過率の高いレンズを組み合わせることで、指向角15°以下を実現しました。これにより、新しい露光機を購入せず、従来の露光機の光源部をLEDに置き換えるだけで、使用することが可能になりました。
３.コンパクト
半導体の露光機用の光源には、通常100個から最大1千個のUV-LEDが必要となり、高密度実装する必要があります。同製品は縦9ｍｍ×横9ｍｍ×高さ8.5ｍｍと大変コンパクトなので、実装密度を高めることができます。
４.安価
指向角が狭いので光源の開発、特に光学系パーツに掛かるコストを削減できます。量産１万個あたりの単価は約５千円と大変リーズナブルです。
3.用途
半導体、PCB基板等を製造する露光機用の光源としての使用を想定。
4.販売時期
5月20日(水)から注文受付、デリバリー開始、6月初旬予定。